Halbleiterinspektion

In der Halbleiter-Branche werden schnellste Taktzeiten, Dynamik und Genauigkeiten im Nanometerbereich gefordert – genau die richtige Herausforderung für Triamec Servo-Drives.

Bei diesen Applikationen kommen häufig Luftlager zum Einsatz, die wegen ihrer schwachen Dämpfung schwierig zu regeln sind. Gerade hier können Triamec Servo-Drives mit ihrer 100kHz-Regelung ihre Vorteile voll ausspielen: Minimale Einschwingzeit kombiniert mit bester Störunterdrückung ergeben stabile, robuste Prozesse.

Typisch für die Produktion von grossen LCD-Panelen sind Portal-Systeme, die sehr präzise positionieren und auch sehr gleichmässig fahren müssen. Triamec hat hierfür spezielle Algorithmen entwickelt, die direkt auf den involvierten Servo-Drives ablaufen und ein optimales Load-Balancing im 10kHz garantieren – ganz ohne übergeordneter Steuerung und deren Komplexität.