Video: Aktive Impulsentkopplung mit Eitzenberger Luftlagertechnik
Impulsentkoppelter Nanometer-Präzisionstisch von Eitzenberger, angetrieben von Triamec Servo-Drives. Man beachte die völlig ruhige Maschinenbasis bei eingeschalteter Impulsentkopplung, die das Übersprechen von einer Achse zur anderen auf weniger als 0,5 nm reduziert. Das Magnetjoch ist ebenfalls motorisiert und gesteuert.
Eitzenberger entwickelt, fertigt und vertreibt hochpräzise Luftlager und Luftlagersysteme für ein breites Spektrum von Anwendungen, darunter die Halbleiterfertigung, die Optikfertigung und die Messtechnik.